高精密滑臺(tái)
高精度全閉環(huán)直線滑臺(tái)
產(chǎn)品特性
? 雙向位置重復(fù)精度:±20nm~±50nm
? 有效行程:20mm~110mm
? 連續(xù)推力:20N~35N
? 最大水平/垂直負(fù)載可達(dá):6~19kg
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? 雙向位置重復(fù)精度:±20nm~±50nm
? 有效行程:20mm~110mm
? 連續(xù)推力:20N~35N
? 最大水平/垂直負(fù)載可達(dá):6~19kg
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