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? 雙向位置重復(fù)精度：±20nm~±50nm
? 有效行程：20mm~110mm
? 連續(xù)推力：20N~35N
? 最大水平/垂直負載可達：6~19kg

重復(fù)精度：±0.005°/±0.003°
有效行程：±5°～±8°
最大水平負載：5kg/6kg

? 單向位置重復(fù)精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50/50(20)mm
? XYZ推力：26(35)/26/26N
? 最大水平負載可達：6kg/10kg

? XYZ單向位置重復(fù)精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50(110)/20mm
? θxθyθz單向位置重復(fù)精度：±0.003~0.005°
? θxθyθz行程：5~8°
? XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負載可達：6kg

? XYZ單向位置重復(fù)精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50(110)/50mm
? θxθyθz單向位置重復(fù)精度：±0.003~0.005°
? θxθyθz行程：5~8°
? XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負載可達：6kg