高精密滑臺(tái)
滑臺(tái)組合類型3軸系列
產(chǎn)品特性
? 單向位置重復(fù)精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50/50(20)mm
? XYZ推力：26(35)/26/26N
? 最大水平負(fù)載可達(dá)：6kg/10kg
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深圳總部：廣東省深圳市光明區(qū)裕豐達(dá)工業(yè)園3棟
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