高精密滑臺(tái)
滑臺(tái)組合類(lèi)型6軸系列
產(chǎn)品特性
? XYZ單向位置重復(fù)精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50(110)/20mm
? θxθyθz單向位置重復(fù)精度：±0.003~0.005°
? θxθyθz行程：5~8°
? XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負(fù)載可達(dá)：6kg
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