高精密滑臺
滑臺組合類型6軸系列
產(chǎn)品特性
? XYZ單向位置重復精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50(110)/50mm
? θxθyθz單向位置重復精度：±0.003~0.005°
? θxθyθz行程：5~8°
? XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負載可達：6kg
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? XYZ單向位置重復精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50(110)/50mm
? θxθyθz單向位置重復精度：±0.003~0.005°
? θxθyθz行程：5~8°
? XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負載可達：6kg
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